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成像光学部件以及具有此类型的成像光学部件的用于微光刻的投射曝光装置

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摘要

一种具有多个反射镜(M1至M6)的成像光学部件(7)，其将物平面(5)中的物场(4)成像在像平面(9)中的像场(8)中。光瞳平面(17)布置在所述物场(4)与所述像场(8)之间的成像光束路径中。光阑(2)布置在所述光瞳平面(17)中。所述光瞳平面(17)倾斜，即采用相对于所述物平面(5)的大于0.1°的角度(α)。从而产生这样的成像光学部件，利用该成像光学部件，实现小成像误差、可管理的制造以及成像光的良好通过量的可处理组合。

著录项

公开/公告号CN102378935B

专利类型发明专利
公开/公告日2013-11-06

原文格式PDF
申请/专利权人卡尔蔡司SMT有限责任公司;
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申请/专利号CN201080015414.1
发明设计人约翰尼斯.泽尔纳;奥雷利安.多多克;马科.普雷托里厄斯;克里斯托夫.门克;威廉.乌尔里克;汉斯-于尔根.曼;
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申请日2010-03-16
分类号
代理机构北京市柳沈律师事务所;
代理人邱军
地址德国上科亨
入库时间 2022-08-23 09:16:32

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2013-11-06

授权

授权
2012-04-25

实质审查的生效 IPC(主分类):G02B 17/06 申请日:20100316

实质审查的生效
2012-03-14

公开

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