公开/公告号CN215722257U
专利类型实用新型
公开/公告日2022-02-01
原文格式PDF
申请/专利权人 中国矿业大学银川学院;
申请/专利号CN202121339323.5
申请日2021-06-16
分类号F16M11/42(20060101);F16M11/28(20060101);F16M11/08(20060101);F16M11/18(20060101);B08B1/00(20060101);
代理机构51241 成都方圆聿联专利代理事务所(普通合伙);
代理人李鹏
地址 750001 宁夏回族自治区银川市西夏区金波北街培华路1号
入库时间 2022-08-23 04:27:31
机译: 可现场监测的等离子体刻蚀装置,其现场监测方法和现场清除方法,用于清除等离子体刻蚀室中的残留物
机译: 施工现场在线监测装置及其控制单元,以及施工现场在线监测方法
机译: 无刷励磁同步电机的现场异常监测装置及现场异常监测方法