公开/公告号CN217385667U
专利类型实用新型
公开/公告日2022-09-06
原文格式PDF
申请/专利权人 珠海博杰电子股份有限公司;
申请/专利号CN202123045551.4
申请日2021-12-07
分类号G01R31/00;
代理机构广州市红荔专利代理有限公司;
代理人王贤义
地址 519000 广东省珠海市香洲区福田路10号厂房1一楼-1、二、三、四楼
入库时间 2022-09-27 00:01:54
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-09-06
授权
实用新型专利权授予
机译: 用于测试沉积工艺的掩模组件,包括该掩模组件的沉积设备以及使用该掩模组件的用于沉积工艺的测试方法
机译: 用于测试沉积过程的掩模组件,包括该掩模组件的沉积装置以及使用该掩模组件的沉积过程的测试方法
机译: 用于测试沉积工艺的掩模组件,包括该掩模组件的沉积设备以及使用该掩模组件的用于沉积工艺的测试方法