公开/公告号CN217639931U
专利类型实用新型
公开/公告日2022-10-21
原文格式PDF
申请/专利权人 珠海市京益科技有限公司;
申请/专利号CN202221417823.0
发明设计人 郭国强;
申请日2022-06-08
分类号G03F7/20;G03F9/00;H05K3/00;
代理机构
代理人
地址 519100 广东省珠海市斗门区新青科技工业园华英路2号(1号厂房)二楼
入库时间 2022-11-28 18:24:11
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-10-21
授权
实用新型专利权授予
机译: 以不透光的方式密封在插座的展开中用不透明的菲林胶片曝光的方法和设备
机译: 光刻法生产的斯图芬林斯菲涅耳表面结构和制造方法
机译: 使用标记结构确定曝光场的改善的绝对位置的光刻设备和装置制造方法