法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2023-01-20
授权
实用新型专利权授予
机译: 使用具有双截面的薄膜试样的弹性模量测量方法,具有双截面的薄膜试样的热膨胀系数测量方法,弹性系数和系数的连续性,热系数的连续性通过使用具有另一种宽度的一个薄膜样本进行一项实验,使薄膜样本的弹性系数和热膨胀系数
机译: 使用指示至少一种尖端到尖端的短路或泄漏,至少一种尖端到一侧的短路或泄漏,以及至少一侧到另一侧的短路或泄漏的非接触电测量来处理半导体晶片的方法,其中使用具有带束偏转功能的带电粒子束检查器从带尖端到尖端短,尖端到侧面短测试和侧面到侧面短测试区域的单元中获得此类测量结果阶段
机译: 使用具有至少两个不同波长的光通量的多波长干涉仪,一种测量装置以及一种测量方法