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金属板、金属板的制造方法、和使用金属板制造蒸镀掩模的方法

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本发明的目的在于提供一种金属板、金属板的制造方法、和使用金属板制造蒸镀掩模的方法，该金属板能够制作抑制了贯通孔位置的偏差的蒸镀掩模。将热处理前后的距离之差相对于热处理前的样品中的2个测定点间的距离的百万分率定义为热复原率。该情况下，各样品中的热复原率的平均值为‑10ppm以上且+10ppm以下，且各样品中的热复原率的偏差为20ppm以下。

著录项

公开/公告号CN107604304B

专利类型发明专利
公开/公告日2021-02-05

原文格式PDF
申请/专利权人大日本印刷株式会社;
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申请/专利号CN201710624909.8
发明设计人池永知加雄;宫谷勋;
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申请日2014-09-24
分类号C23C14/04(20060101);C23F1/02(20060101);
代理机构11127 北京三友知识产权代理有限公司;
代理人庞东成
地址日本东京都
入库时间 2022-08-23 11:31:12

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