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压电元件和压电激励器和压电泵及喷墨式记录头

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摘要

一种压电元件(10)包含：基板(1)；基板(1)上方形成的第1导电层(4)；在第1导电层(4)上方形成的、由具有钙钛矿结构的压电体构成的压电体层(5)；以及电连接在压电体层(5)上的第2导电层(6)，第1导电层(4)包含由在(001)优先取向的镍酸镧构成的导电性氧化层(42)，镍酸镧缺欠氧。由此，本发明提供一种能够得到良好的压电特性的压电元件。

著录项

公开/公告号CN100490203C

专利类型发明授权
公开/公告日2009-05-20

原文格式PDF
申请/专利权人精工爱普生株式会社;
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申请/专利号CN200510134074.5
发明设计人岩下节也;木岛健;大桥幸司;
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申请日2005-12-23
分类号H01L41/08(20060101);H01L41/18(20060101);
代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;
代理人李香兰
地址日本东京
入库时间 2022-08-23 09:02:21

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2009-05-20

授权

授权
2006-09-13

实质审查的生效

实质审查的生效
2006-07-19

公开

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