• 主题
高级搜索  >
历史搜索 清空历史
首页> 中国专利> 多轴力传感器、制造多轴力传感器的方法以及用于操作多轴力传感器的方法

多轴力传感器、制造多轴力传感器的方法以及用于操作多轴力传感器的方法

页面导航
  • 摘要
  • 著录项
  • 相似文献

摘要

一种微机电换能器包括具有彼此相对的第一表面和第二表面的半导体本体。多个沟槽在半导体本体中从第一表面朝向第二表面延伸，其包括具有沿着第一轴线的相应主延伸方向的第一对沟槽以及具有沿着第二轴线的相应主延伸方向的第二对沟槽，第二轴线与第一轴线正交。第一压阻式传感器和第二压阻式传感器在分别被布置在第一对沟槽和第二对沟槽之间的半导体本体的第一表面处延伸。第一压阻式传感器、第二压阻式传感器和多个沟槽形成有源区。第一结构体被机械地耦接到半导体本体的第一表面以形成包围有源区的第一密封腔体。

著录项

  • 公开/公告号CN109470385B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2022-03-15

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 意法半导体股份有限公司;

    申请/专利号CN201810682088.8

  • 发明设计人 M·亚巴西加瓦蒂;D·卡尔塔比亚诺;F·布拉格辛;

    申请日2018-06-27

  • 分类号G01L1/18(20060101);G01L5/162(20200101);

  • 代理机构11256 北京市金杜律师事务所;

  • 代理人王茂华

  • 地址 意大利阿格拉布里安扎

  • 入库时间 2022-08-23 13:16:29

相似文献

  • 专利
  • 中文文献
  • 外文文献
获取专利

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

  • 客服微信

  • 服务号