首页> 中国专利> 一种多模式光学在线测量装置及测量方法

一种多模式光学在线测量装置及测量方法

页面导航

摘要
著录项
法律信息
相似文献

摘要

本发明一种多模式光学在线测量装置及测量方法，属于光学测量技术领域，设计了一种多模式光学在线测量装置，在干涉测量技术的基础上引入差动共焦显微技术，满足不同动态范围光学曲面宏观面形以及表面粗糙度的在线测量；并提出了一种多模光学在线测量方法，实现了不同动态范围光学曲面宏观面形及其表面粗糙度在同一台装置中的在线测量，LED干涉显微测量、单波长激光干涉测量、双波长激光干涉测量及差动共焦显微测量四种工作模式的融合，形成了适合不同动态范围光学曲面宏观面形及表面粗糙度的光学测量技术，为光学在线测量提供了一种新的有利工具。

著录项

公开/公告号CN112710251B

专利类型发明专利
公开/公告日2022-03-18

原文格式PDF
申请/专利权人东北电力大学;
展开▼

申请/专利号CN202011497868.9
发明设计人张宇;
展开▼

申请日2020-12-17
分类号G01B11/24(20060101);G01B11/30(20060101);
代理机构22102 吉林市达利专利事务所;
代理人陈传林
地址 132012 吉林省吉林市船营区长春路169号
入库时间 2022-08-23 13:16:55

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2022-03-18

授权

发明专利权授予

相似文献

专利
中文文献
外文文献

1. 一种多模式光学在线测量装置及测量方法 [P] . 中国专利： CN112710251A . 2021-04-27
2. 高功率微波TM0n混合模式在线测量装置及测量方法 [P] . 中国专利： CN105044485B . 2017.10.31
3. 一种校准工装、盲插连接器互配间隙的测量装置及方法 [P] . 世界知识产权组织专利： WO2020/143204A1 . 2020.07.16
4. 一种CZT半导体活度计以及活度测量装置 [P] . 世界知识产权组织专利： WO2020/142972A1 . 2020.07.16
5. 光学素子、光学系、撮像装置、および、光学素子の製造方法 [P] . 日本专利： JP2019035846A . 2019-03-07

机译：光学元件，光学系统，图像拾取装置以及光学元件的制造方法