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一种真空封堵机构、真空封堵方法及真空测试设备

摘要

本发明涉及真空测试技术领域,公开一种真空封堵机构、真空封堵方法及真空测试设备。其中,真空封堵机构包括堵头、固定块和多个外径不同的套环。堵头包括封堵部和固定部,封堵部的直径大于通孔的直径,封堵部能够与真空腔壁的一侧贴合。套环能够套设在固定部上且能够可拆卸地卡设在通孔中。固定块能够与真空腔壁的另一侧贴合,固定部能够穿过固定块与紧固件可拆卸地固定连接,以使封堵部与真空腔壁紧密贴合并封堵通孔。本发明提供的真空封堵机构,只需针对通孔尺寸更换不同尺寸的套环,而无需更换不同尺寸的堵头,由于套环结构简单,更易加工,所以能够降低成本,另外通过套环卡设在通孔中,可以防止堵头发生侧向移动导致漏气,提高密封的可靠性。

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