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喷头、气相生长装置以及气相生长方法

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摘要

一种喷头、气相生长装置以及气相生长方法，实施方式的喷头具备：混合室，被供给工艺气体；多个冷却部，分别隔着从混合室导入工艺气体的间隙设置在混合室的下方，且分别在内部具有沿水平方向设置的冷却孔；多个缓冲区域，设置在间隙的下方，从间隙导入工艺气体；以及喷淋板，设置在缓冲区域的下方，以规定的间隔配置有从缓冲区域导入工艺气体的多个贯通孔。

著录项

  • 公开/公告号CN107366014B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2022-05-27

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 纽富来科技股份有限公司;

    申请/专利号CN201710248403.1

  • 发明设计人 山田拓未;佐藤裕辅;

    申请日2017-04-17

  • 分类号C30B25/14;C23C16/455;

  • 代理机构永新专利商标代理有限公司;

  • 代理人徐冰冰;刘杰

  • 地址 日本神奈川县

  • 入库时间 2022-08-23 13:44:32

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