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基于BFGS拟牛顿-内点算法的光刻机匹配方法

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一种基于BFGS拟牛顿‑内点算法的光刻机匹配方法。本方法以空间像关键尺寸作为描述光刻机成像性能的参数，通过BFGS拟牛顿‑内点算法优化参数化描述的光刻机照明光源以及投影物镜数值孔径，实现光刻机高效率匹配。本发明利用障碍函数为优化问题添加约束，有效地利用了迭代信息，改进了非自由照明系统光刻机的匹配方法，提高了现有方法的匹配精度和效率。适用于具有非自由照明系统的浸没式光刻机之间的匹配。

著录项

公开/公告号CN113189851B

专利类型发明专利
公开/公告日2022-05-31

原文格式PDF
申请/专利权人中国科学院上海光学精密机械研究所;
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申请/专利号CN202110443832.0
发明设计人陈俞光;李思坤;唐明;胡少博;王向朝;
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申请日2021-04-23
分类号G03F7/20;G03F1/36;G03F1/00;
代理机构上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙);
代理人张宁展
地址 201800 上海市嘉定区清河路390号
入库时间 2022-08-23 13:44:49

法律信息

法律状态公告日

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法律状态
2022-05-31

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发明专利权授予

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