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洁净室的空气净化装置及洁净室离子控制系统

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摘要

本发明提供一种洁净室的空气净化装置及洁净室离子控制系统，所述洁净室的空气净化装置包括第一离子监测器，设置于所述空气净化装置的进气口的前端；第一温控装置，与所述第一离子监测器连接；水洗装置，与所述第一温控装置连接；其中，所述第一温控装置及所述水洗装置的工作参数是根据所述第一离子监测器的监测结果来调控。本发明的空气净化装置通过在空气净化装置洁净室新风供应端的进气口端设置离子监测器，用于监测空气净化装置洁净室新风供应端进气口处的空气离子浓度，并根据监测到的空气净化装置洁净室新风供应端进气口处的空气离子浓度调控所述第一温控装置及所述水洗装置的工作参数，提高空气净化装置的清洁能力。

著录项

  • 公开/公告号CN113521940B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2022-06-14

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 合肥晶合集成电路股份有限公司;

    申请/专利号CN202010317150.0

  • 发明设计人 徐传芹;

    申请日2020-04-21

  • 分类号B01D50/60;

  • 代理机构上海光华专利事务所(普通合伙);

  • 代理人朱艳

  • 地址 230012 安徽省合肥市新站区合肥综合保税区内西淝河路88号

  • 入库时间 2022-08-23 13:49:58

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-06-14

    授权

    发明专利权授予

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