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公开/公告号CN109917617B
专利类型发明专利
公开/公告日2022-06-14
原文格式PDF
申请/专利权人 北京振兴计量测试研究所;
申请/专利号CN201711319998.1
发明设计人 张鑫;吴柯萱;魏树弟;王志;杜继东;何立平;张林军;
申请日2017-12-12
分类号G03F7/00;G01M11/00;
代理机构
代理人
地址 100074 北京市丰台区云岗北区西里1号院30号楼
入库时间 2022-08-23 13:51:09
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