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横向剪切干涉波前重建过程中波前损失信息的补全方法

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摘要

一种横向剪切干涉波前重建过程中波前损失信息的补全方法，该方法通过周期性延拓差分波前，在不引入额外误差的情况下，将任意大小的波前延拓至可被剪切量整除的大小；经过延拓后，缺失的相位信息将表现为重建波前频域中一系列无法计算的奇点，通过插值的方式进行有效补全，进而提高干涉仪检测结果的精度。

1. 横向剪切干涉波前重建过程中波前损失信息的补全方法 [P] . 中国专利： CN111307302A . 2020-06-19
2. 一种光栅横向剪切干涉波前重建过程中的补偿方法 [P] . 中国专利： CN113432731B . 2022.06.28
3. Wavefront measuring device e.g. lateral shearing interferometer, calibrating method, involves making measurements with different tilting angles of optical components of measuring device relative to test specimen by measuring device [P] . 德国专利： DE102006021965A1 . 2007-11-15

机译：波前测量装置横向剪切干涉仪的校准方法，涉及通过测量装置以相对于试样的测量装置的光学部件的不同倾斜角进行测量
4. Method and apparatus for wavefront reconstruction by interference of a light beam with a diffracted replica [P] . ES2177466B1 . 2003-12-16

机译：通过光束与衍射复制品的干涉进行波前重建的方法和设备
5. METHOD FOR HIGH-ACCURACY WAVEFRONT MEASUREMENT BASE ON GRATING SHEARING INTERFEROMETRY [P] . US2022074793A1 . 2022-03-10

机译：基于光栅剪切干涉法的高精度波前测量方法