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通过金属扩散调节铁电存储器表面层有效厚度的方法

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本发明属于铁电存储器件技术领域，具体为一种通过金属扩散调节铁电存储器表面层有效厚度的方法。本发明是在铁电存储单元表面层与电极接触部位间增加金属扩散层，使金属原子扩散进入部分或全部铁电表面层区域，从而调减表面层有效厚度，实现对表面层选择管开启电压大小的连续调节。本发明在金属扩散层制备完成后，采用高温保温或后热退火的方法调控扩散层金属向铁电材料内部的扩散深度。本发明实现了开启电压连续可调，甚至可降低至接近零；同时，开态电流增大，存储器读写操作电压减小，可提高器件可缩微性或存储密度，实现功耗的大幅度降低，开关比可达10

著录项

公开/公告号CN113421881B

专利类型发明专利
公开/公告日2022.08.19

原文格式PDF
申请/专利权人复旦大学;
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申请/专利号CN202110577778.9
发明设计人江安全;庄晓;柴晓杰;江钧;孙杰;张文笛;
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申请日2021.05.26
分类号H01L27/11507(2017.01);
代理机构上海正旦专利代理有限公司 31200;上海正旦专利代理有限公司 31200;
代理人陆飞;陆尤
地址 200433 上海市杨浦区邯郸路220号
入库时间 2022-09-26 23:16:40

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