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基于局部像差补偿的大偏离度非球面的双光路检测系统

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本公开的基于局部像差补偿的大偏离度非球面的双光路检测系统，包括干涉仪1、空间滤波器2、空间光调制器3、变焦零位补偿器4、被测元件5、切换式反射镜6、反射镜7、空间光调制器8和变焦零位补偿器9；空间滤波器2、空间光调制器3、变焦零位补偿器4、被测元件5依次设置在所述干涉仪1的主光轴线上为第一光路，检测干涉仪主光轴线区域的被测元件5的面形区域；切换式反射镜6设置在干涉仪1的光轴线上或光轴线外，反射镜7、空间光调制器8和变焦零位补偿器9依次设置在干涉仪1的主光轴线外为第二光路，检测干涉仪主光轴线外的被测元件5剩余的面形区域。可以解决干涉条纹解析困难、精度不足的问题，具有通用性强、检测精度高的优点。

著录项

公开/公告号CN113624157B

专利类型发明专利
公开/公告日2022.08.19

原文格式PDF
申请/专利权人北京理工大学;
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申请/专利号CN202110843808.6
发明设计人常军;来笑笑;宋大林;曹佳静;张运强;
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申请日2021.07.26
分类号G01B11/24(2006.01);
代理机构北京理工大学专利中心 11120;北京理工大学专利中心 11120;
代理人李爱英;付雷杰
地址 100081 北京市海淀区中关村南大街5号
入库时间 2022-09-26 23:16:40

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