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转移装置、转移装置的制备方法、转移方法

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本发明一方面提供一种转移装置，其包括非磁性板、多个具有磁性的探针以及磁性板。所述非磁性板定义有贯穿的多个通孔。每一所述探针固定于一个所述通孔内。所述磁性板设置于所述非磁性板的一表面上并封闭每一所述通孔的一个开口。所述磁性板能够产生磁场，以使所述探针磁性吸附一个发光元件。所述通孔在远离所述磁性板一侧的开口的尺寸小于所述发光元件的尺寸。所述探针远离所述磁性板的一端未超出所述通孔。还提供一种转移装置的制备方法以及一种转移方法。

著录项

公开/公告号CN111244016B

专利类型发明专利
公开/公告日2022.10.18

原文格式PDF
申请/专利权人深超光电(深圳)有限公司;
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申请/专利号CN202010160027.2
发明设计人林永富;陈柏良;李荣华;田慧仙;
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申请日2020.03.10
分类号H01L21/683;H01L27/15;
代理机构深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司;
代理人张小丽
地址 518109 广东省深圳市宝安区龙华街道办民清路深超光电科技园A栋
入库时间 2022-11-28 17:51:11

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