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掩模板、掩模板组件及掩模板组件制备方法

摘要

本申请实施例公开一种掩模板、掩模板组件及掩模板组件制备方法。该掩模板的一具体实施方式包括:该掩模板形成在掩模框架上,掩模板的与掩模框架的固接的环形区域具有多个镂空部。该实施方式通过在掩模板与掩模框架的固接区域形成多个镂空部,可减小掩模板与掩模框架的接触面积,从而方便对掩模板与掩模框架之间的药液残留进行处理,使得药液残留的情况大幅度降低,保证了蒸镀器件的寿命及性能;同时,该设计还降低了掩模板组件的清洗周期时间,提高了掩模板组件的稼动率。

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  • 2022-12-27

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