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A carrier for use in a vacuum chamber, a system for testing transfer alignment in a vacuum chamber, a vacuum processing system, and a method for testing transfer alignment in a vacuum chamber

机译：用于真空室的载体，用于测试真空室中的传递对准的系统，真空处理系统以及用于测试真空室中的传递对准的方法

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摘要

The present disclosure provides a carrier (100) for transport in a vacuum chamber (302). The carrier 100 includes a body 110 and one or more motion sensors 120 connected to the body 110.

机译：本公开提供了一种用于在真空室（302）中运输的载体（100）。载体100包括主体110和连接到主体110的一个或多个运动传感器120。

著录项

公开/公告号KR20190053864A

专利类型
公开/公告日2019-05-20

原文格式PDF
申请/专利权人 어플라이드 머티어리얼스 인코포레이티드;
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申请/专利号KR20197008803
发明设计人 라우 시몬;핸트 한스 요아힘;손넨샤인 요아힘;첸겔 클라우스;게르하르트 마르코;오스만리치 알렌;한젠 하우케;최 원 준;
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申请日2017-10-25
分类号H01L21/677;H01L21/67;H01L21/673;
国家 KR
入库时间 2022-08-21 11:50:54

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