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INERTIAL MEASUREMENT UNITS AND METHOD FOR MANUFACTURING INERTIAL MEASUREMENT UNITS

机译：惯性测量单元和制造惯性测量单元的方法

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To provide an improved method for manufacturing an inertial measurement system, and improved inertial measurement units.SOLUTION: A method for manufacturing an inertial measurement unit (IMU) 900 comprises fabricating a plurality of individual MEMS inertial sensor packages 902 at a package level as sealed packages 902 containing a MEMS inertial sensor chip 214 and an integrated circuit 212 electrically connected together. Fabricating the individual MEMS inertial sensor packages 902 comprises forming mechanical interconnect features 104 in each package 902, and assembling the IMU 900 by mechanically interconnecting each individual MEMS inertial sensor package 902 with another individual MEMS inertial sensor package 902 in a mutually orthogonal orientation.SELECTED DRAWING: Figure 1A

机译：提供一种用于制造惯性测量系统的改进方法以及改进的惯性测量单元。解决方案：一种用于制造惯性测量单元（IMU）900的方法，包括在封装级别将多个单独的MEMS惯性传感器封装902制造为密封封装。 902包含电连接在一起的MEMS惯性传感器芯片214和集成电路212。制造单个MEMS惯性传感器封装902的步骤包括在每个封装902中形成机械互连部件104，以及通过将每个单个MEMS惯性传感器封装902与另一个单独的MEMS惯性传感器封装902在相互正交的方向上机械互连来组装IMU 900。：图1A

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公开/公告号JP2019144240A

专利类型
公开/公告日2019-08-29

原文格式PDF
申请/专利权人 ATLANTIC INERTIAL SYSTEMS LTD;
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申请/专利号JP20190024965
发明设计人 KEVIN TOWNSEND;MICHAEL TERENCE DURSTON;
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申请日2019-02-15
分类号G01C19/5783;G01P15/08;G01P15/18;H01L23/04;H01L25/10;H01L25/18;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 12:23:29

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