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MOLECULAR BEAM EPITAXY SYSTEM AND METHOD FOR REDUCING EXCESS FLUX IN A MOLECULAR BEAM EPITAXY SYSTEM

机译:分子束外延系统和减少分子束外延系统中过剩通量的方法

摘要

The present invention provides a molecular beam epitaxy system that comprises a growth chamber (101), a substrate manipulator (107) mounted inside the growth chamber (101) for holding a substrate (108) to be epitaxially grown, a source (109, 110) for supplying a flux of a growth material towards the substrate (108), a reflector (113) arranged between the source (109) and the substrate manipulator (107) for reflecting part of the flux supplied by the source (109), and means (115, 201, 202, 203) for collecting at least part of the flux reflected from the reflector (113). The present invention also provides a method for reducing excess flux in a molecular beam epitaxy system.
机译:本发明提供了一种分子束外延系统,其包括生长室(101),安装在生长室(101)内以保持待外延生长的衬底(108)的衬底操纵器(107),源(109、110)。 )用于向衬底(108)供应生长材料的通量,反射器(113),其布置在源(109)和衬底操纵器(107)之间,以反射由源(109)提供的部分通量,以及装置(115、201、202、203),用于收集从反射器(113)反射的通量的至少一部分。本发明还提供了一种减少分子束外延系统中过量通量的方法。

著录项

  • 公开/公告号EP3480343A1

    专利类型

  • 公开/公告日2019-05-08

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 DCA CANTOR OY;

    申请/专利号EP20170199527

  • 发明设计人 DU PENG;SUPPONEN ESA;

    申请日2017-11-01

  • 分类号C30B23;C30B29/40;C23C14/24;

  • 国家 EP

  • 入库时间 2022-08-21 12:26:08

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