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DEVICE FOR PRODUCING A HOLLOW CATHODE ARC DISCHARGE PLASMA

机译：用于生产空心阴极电弧等离子体的装置

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An apparatus for generating a hollow cathode arc discharge plasma, including two plasma sources, each including a hollow cathode and an electrode which is associated with the hollow cathode and which has an opening that extends through the electrode, wherein the hollow cathodes of the two plasma sources are connected to a pulse generator which generates a bipolar, medium-frequency pulsed voltage between the two hollow cathodes. Here, in each of the two plasma sources, the hollow cathode is connected in an electrically conducting manner, directly or with interconnection of at least one current direction limiting component, to the associated electrode.

机译：一种用于产生空心阴极电弧放电等离子体的设备，该设备包括两个等离子体源，每个等离子体源包括一个空心阴极和一个电极，该电极与该空心阴极相连并且具有延伸穿过该电极的开口，其中两个等离子体的空心阴极电源连接到脉冲发生器，该脉冲发生器在两个空心阴极之间产生双极性，中频脉冲电压。在此，在两个等离子体源的每一个中，空心阴极以导电的方式直接地或者通过至少一个电流方向限制部件的互连而与相关的电极连接。

著录项

公开/公告号EP2795657B1

专利类型
公开/公告日2018-12-12

原文格式PDF
申请/专利权人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.;
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申请/专利号EP20120775662
发明设计人 MORGNER HENRY;METZNER CHRISTOPH;KUBUSCH JÖRG;JUNGHÄHNEL MICHAEL;LABITZKE RAINER;MATTAUSCH GÖSTA;KLOSE LARS;WERNER LARS;
展开▼

申请日2012-10-17
分类号H01J37/32;
国家 EP
入库时间 2022-08-21 12:30:40

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