公开/公告号US9947531B2
专利类型
公开/公告日2018-04-17
原文格式PDF
申请/专利权人 NUVOSON INC.;
申请/专利号US201515543141
申请日2015-12-17
分类号H01L21/02;C23C14/58;C23C14/06;C23C14/34;H01L31/18;C22C29;H01L31/032;H01L31/0749;C23C14;H01L45;H01L31/02;
国家 US
入库时间 2022-08-21 12:59:02