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A MICROELECTROMECHANICAL DEVICE, AN ARRANGEMENT OF MICROELECTROMECHANICAL DEVICES, A METHOD FOR THE PRODUCTION OF A MICROELECTROMECHANICAL DEVICE AND A METHOD FOR OPERATING A MICROELECTROMECHANICAL DEVICE

机译：微机电设备，微机电设备的布置，微机电设备的生产方法以及微机电设备的操作方法

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摘要

Aspects of a microelectromechanical device, an array of microelectromechanical devices, a method of fabricating a microelectromechanical device, and a method of operating a microelectromechanical device are discussed herein. The microelectromechanical device may include: a substrate (102); a membrane (110) mechanically coupled to the substrate (102) and including a loaded region for expanding the membrane (110) to one of two geometrically stable positions; an actuator (120) mechanically coupled to the diaphragm (110) and including a piezoelectric layer (124) over the diaphragm (110); a controller (150) configured to provide an electrical control signal in response to a digital sound input signal; wherein the actuator (120) is configured to receive the electrical control signal to apply a piezoelectric force to the diaphragm (110) via the piezoelectric layer (124) to move it to generate a sound wave.

机译：本文讨论了微机电装置，微机电装置的阵列，制造微机电装置的方法以及操作微机电装置的方法的方面。所述微机电装置可以包括：基板（102）;以及基板。机械地耦合到衬底（102）的膜（110），其包括用于将膜（110）扩展到两个几何稳定位置之一的加载区域;致动器（120）机械地耦合到隔膜（110），并且包括在隔膜（110）上的压电层（124）;控制器（150），其被配置为响应于数字声音输入信号而提供电控制信号;其中，致动器（120）被配置为接收电控制信号，以经由压电层（124）将压电力施加到振动膜（110），以使振动膜移动以产生声波。

著录项

公开/公告号DE102017109575A1

专利类型
公开/公告日2017-11-09

原文格式PDF
申请/专利权人 INFINEON TECHNOLOGIES AG;
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申请/专利号DE201710109575
发明设计人 MANUEL DORFMEISTER;ALFONS DEHE;THOMAS GRILLE;URSULA HEDENIG;MANFRED KALTENBACHER;ULRICH SCHMID;MICHAEL SCHNEIDER;
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申请日2017-05-04
分类号H04R7/24;H04R3;H04R17;B81B7/02;B82B3;B81C1;B81B7/04;
国家 DE
入库时间 2022-08-21 13:21:59

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