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DEFECT SIGNAL TO NOISE ENHANCEMENT BY REDUCING DIE TO DIE PROCESS NOISE

机译:通过减少Die到Die过程噪声来增强噪声的缺陷信号

摘要

Gray level histograms for a test image and a reference image are adjusted by histogram scaling. Parameters from the histogram scaling are applied to the test image and the reference image. After the parameters are applied, the reference image and the test image are compared to produce a difference image, such as by subtracting the reference image from the test image. Noise in the difference image can be reduced, which improves defect identification in the difference image. In addition, noisy structures in the difference image which are elongated in vertical or horizontal direction can be found. If the noise exceeds a certain threshold, the structures may not be inspected.
机译:通过直方图缩放调整测试图像和参考图像的灰度直方图。直方图缩放中的参数将应用于测试图像和参考图像。在施加参数之后,比较参考图像和测试图像以产生差异图像,例如通过从测试图像中减去参考图像。可以减少差异图像中的噪声,这改善了差异图像中的缺陷识别。另外,可以在差异图像中发现在垂直或水平方向上拉长的噪声结构。如果噪音超过某个阈值,则可能无法检查结构。

著录项

  • 公开/公告号US2017169552A1

    专利类型

  • 公开/公告日2017-06-15

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 KLA-TENCOR CORPORATION;

    申请/专利号US201615352664

  • 发明设计人 JAMES A. SMITH;BJORN BRAUER;

    申请日2016-11-16

  • 分类号G06T5/40;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-21 13:51:42

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