公开/公告号US9444214B2
专利类型
公开/公告日2016-09-13
原文格式PDF
申请/专利权人 CARL ZEISS SMT GMBH;
申请/专利号US201414320045
发明设计人 UDO DINGER;
申请日2014-06-30
分类号G03F7/20;H01S3/034;G02B27/00;H05G2/00;G02B7/00;B23K26/03;B23K26/06;G02B7/18;
国家 US
入库时间 2022-08-21 14:32:38