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MICROPLASMA JET DEVICE, LAMINATED MICROPLASMA JET MODULE AND METHOD FOR MANUFACTURING MICROPLASMA JET DEVICE

机译:微晶玻璃射流装置,叠层的微晶玻璃射流模块和制造微晶玻璃射流装置的方法

摘要

A microplasma jet device, according to the present invention, comprises: a channel layer having a plurality of micro flow channels arranged in parallel so as to enable a gas for generating plasma to pass therethrough; a first insulating layer joined to one surface of the channel layer and having a first plasma generation electrode; and a second insulating layer joined to the other surface of the channel layer and having a second plasma generation electrode.
机译:根据本发明的微等离子体喷射装置,包括:通道层,其具有平行布置的多个微流通道,以使得用于产生等离子体的气体能够通过该微流通道。第一绝缘层,其结合到沟道层的一个表面并具有第一等离子体产生电极;第二绝缘层,其接合到沟道层的另一表面并具有第二等离子体产生电极。

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