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Production processing system, production processing control device, production processing control method, and production processing control program

机译:生产加工系统,生产加工控制装置,生产加工控制方法以及生产加工控制程序

摘要

A production processing system includes a plurality of processing tools configured to process workpieces, an equipment which can be shared by the plurality of processing tools, a transfer device configured to transfer the workpieces to the plurality of processing tools, a host computer configured to create a transfer plan including information on timings for the workpieces to be carried in and carried out of the plurality of processing tools by the transfer device, a group controller configured to generate a use plan for the equipment based on acquired information, and a shared controller configured to control processing timings of the equipment and each of the plurality of processing tools based on the use plan, an operational state of the equipment, and use information including at least one of use reservation, inquiry, execution, and release information for the equipment by each of the plurality of processing tools.
机译:生产处理系统包括:多个处理工具,被配置为处理工件;设备,可以被多个处理工具共享;设备,被配置为将工件转移到多个处理工具;主计算机,被配置为创建工件。转移计划,包括关于由转移装置将工件移入和移出多个处理工具的时间的信息,配置为基于获取的信息生成设备使用计划的组控制器以及配置为基于使用计划,设备的操作状态以及包括每个设备的使用保留,查询,执行和发布信息中的至少一项的使用信息来控制设备和多个处理工具中的每个的处理定时。多个处理工具中的一个。

著录项

  • 公开/公告号JP5886012B2

    专利类型

  • 公开/公告日2016-03-16

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 東京エレクトロン株式会社;

    申请/专利号JP20110257726

  • 发明设计人 伊 藤 孝 浩;

    申请日2011-11-25

  • 分类号H01L21/02;G05B19/418;

  • 国家 JP

  • 入库时间 2022-08-21 14:41:52

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