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JIG FOR PEELING PELLICLE AND PEELING METHOD

机译:去皮丸的治具及去皮方法

摘要

The present invention provides a simple jig and peeling method that can easily and safely peel a pellicle adhered to a photomask. The positional relationship between the photomask and the pellicle is fixed by the pellicle peeling jig having the fixing member for the photomask and the adhesive layer for the pellicle, and the mask adhesive layer is taken out and removed in a fixed state.
机译:本发明提供了一种简单的夹具和剥离方法,其可以容易且安全地剥离粘附在光掩模上的防护膜。通过具有用于光掩模的固定构件和用于薄膜的粘合层的薄膜剥离夹具来固定光掩模和薄膜的位置关系,并且以固定状态取出并去除掩模粘合层。

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