公开/公告号EP2665089A4
专利类型
公开/公告日2015-06-03
原文格式PDF
申请/专利权人 HITACHI CHEMICAL COMPANY LTD.;
申请/专利号EP20120734324
发明设计人 ORITA AKIHIRO;YOSHIDA MASATO;NOJIRI TAKESHI;MACHII YOICHI;IWAMURO MITSUNORI;KIZAWA KEIKO;ADACHI SHUICHIRO;SATO TETSUYA;
申请日2012-01-11
分类号H01L21/225;H01L31/18;
国家 EP
入库时间 2022-08-21 15:06:33