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TARGET POSITIONING DEVICE, METHOD FOR DRIVING A TARGET POSITIONING DEVICE, AND A LITHOGRAPHY SYSTEM COMPRISING SUCH A TARGET POSITIONING DEVICE.

机译:目标定位设备,用于驱动目标定位设备的方法以及包括这种目标定位设备的光刻系统。

摘要

机译:

著录项

  • 公开/公告号NL1039797C

    专利类型

  • 公开/公告日2015-02-09

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 MAPPER LITHOGRAPHY IP B.V.;

    申请/专利号NL20121039797

  • 发明设计人 PEIJSTER JERRY JOHANNES MARTINUS;

    申请日2012-09-12

  • 分类号G03F7/20;

  • 国家 NL

  • 入库时间 2022-08-21 15:13:47

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