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Device and method for manufacturing a particulate filter with regularly spaced micropores

机译:用于制造具有规则间隔的微孔的颗粒过滤器的装置和方法

摘要

Various embodiments disclose devices and methods for fabricating microporous particulate filters with regularly spaced pores wherein sheet membrane substrates are exposed to energetic particle radiation through a mask and the damaged regions removed in a suitable developer. The required depth of field is achieved by using energetic particles to minimize diffraction and an energetic particle source with suitably small diameter.
机译:各种实施方式公开了用于制造具有规则间隔的孔的微孔颗粒过滤器的装置和方法,其中片状膜基材通过掩模暴露于高能粒子辐射,并且在合适的显影剂中去除受损区域。通过使用高能粒子以最大程度地减少衍射和使用直径合适的高能粒子源,可以达到所需的景深。

著录项

  • 公开/公告号US8987688B2

    专利类型

  • 公开/公告日2015-03-24

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 JOHN C. WOLFE;PAUL RUCHHOEFT;

    申请/专利号US20080530978

  • 发明设计人 PAUL RUCHHOEFT;JOHN C. WOLFE;

    申请日2008-03-13

  • 分类号A61N5/00;G03B27/42;B01D67/00;B01D71/48;G03F7/00;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-21 15:19:05

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