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Nanostructure, optical device including the same, and methods of manufacturing the nanostructure and the optical device

机译：纳米结构，包括该纳米结构的光学器件以及制造该纳米结构和光学器件的方法

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A nanostructure, an optical device including the nanostructure, and methods of manufacturing the nanostructure and the optical device. A method of manufacturing a nanostructure may include forming a block copolymer template layer and a precursor pattern of metal coupled to the block copolymer template layer on a graphene layer, and forming a metal nanopattern on the graphene layer by removing the block copolymer template layer and reducing the precursor pattern.

机译：纳米结构，包括该纳米结构的光学器件以及制造该纳米结构和光学器件的方法。制造纳米结构的方法可以包括：在石墨烯层上形成嵌段共聚物模板层和与该嵌段共聚物模板层耦合的金属的前体图案;以及通过去除该嵌段共聚物模板层并还原而在石墨烯层上形成金属纳米图案。前体模式。

著录项

公开/公告号US9029252B2

专利类型
公开/公告日2015-05-12

原文格式PDF
申请/专利权人 SAMSUNG ELECTRONICS CO. LTD.;UNIST ACADEMY—INDUSTRY RESEARCH CORPORATION;
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申请/专利号US201414178566
发明设计人 UN-JEONG KIM;JIN-EUN KIM;YOUNG-GEUN ROH;SOO-JIN PARK;YEON-SANG PARK;SEUNG-MIN YOO;CHANG-WON LEE;JAE-SOONG LEE;SANG-MO CHEON;
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申请日2014-02-12
分类号H01L21/22;H01L21/38;H01L21/4763;H01L27/14;H01L31/0224;H01L21/283;H01L31/028;
国家 US
入库时间 2022-08-21 15:21:49

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