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METHODS OF PREPARING LAYOUTS FOR SEMICONDUCTOR DEVICES, PHOTOMASKS FORMED USING THE LAYOUTS, AND SEMICONDUCTOR DEVICES FABRICATED USING THE PHOTOMASKS

机译:为半导体设备准备布局的方法,使用布局形成的照片集以及使用照片集制造的半导体设备的方法

摘要

Methods of preparing layouts for semiconductor devices and semiconductor devices fabricated using the layouts are provided. Preparing the layouts for semiconductor devices may include disposing assistant patterns near a main gate pattern that is provided on a weak active pattern. The weak active pattern may be, for example, an outermost one of active patterns and may be one expected to have an increased width during a fabrication process.
机译:提供了准备用于半导体器件的布局的方法以及使用该布局制造的半导体器件。准备用于半导体器件的布局可以包括将辅助图案布置在设置在弱有源图案上的主栅极图案附近。弱有源图案可以是例如有源图案中的最外面的有源图案,并且可以是在制造过程期间预期具有增加的宽度的有源图案。

著录项

  • 公开/公告号US2015261905A1

    专利类型

  • 公开/公告日2015-09-17

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 SAMSUNG ELECTRONICS CO. LTD.;

    申请/专利号US201414576695

  • 发明设计人 HUNKOOK LEE;HONGSOO KIM;JUYEON LEE;

    申请日2014-12-19

  • 分类号G06F17/50;H01L21/8234;H01L29/06;G03F1;H01L27/088;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-21 15:27:00

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