公开/公告号EP2212903B1
专利类型
公开/公告日2014-08-27
原文格式PDF
申请/专利权人 MKS INSTR INC;
申请/专利号EP20080838087
发明设计人 ATTWOOD MARK;HOLBER WILLIAM M.;ROBINSON TIMOTHY ROGER;SHAJII ALI;LONGSON MARK PHILIP;CHEN XING;PALK JONATHAN HENRY;SMITH JOHN A.;
申请日2008-09-23
分类号H01J49/10;H01J49/14;
国家 EP
入库时间 2022-08-21 15:50:45