机译:用于在两个旋转的工作盘之间双向研磨至少一个盘状工件的导向保持架,一种研磨装置,一种制造该导向保持架的方法以及一种利用该导向保持架同时对盘状工件进行双面研磨的方法
公开/公告号DE102011089570A1
专利类型
公开/公告日2013-06-27
原文格式PDF
申请/专利权人 SILTRONIC AG;
申请/专利号DE20111089570
申请日2011-12-22
分类号B24B7/17;B24B37/28;
国家 DE
入库时间 2022-08-21 16:22:17