提供一种在不规则检查设备中的最佳检查条件设置方法,用于获取图像,以基于衍射光的对比度准确地区分正常部分和变化部分。
解决方案:一种设置不规则检查设备的检查条件的方法,该设备以多个照射角向形成有周期性图案的基板照射照明光,以通过使用由周期性图案产生的衍射光来进行检查。包括:在要检查的基板上输入信息的步骤,以在周期性图案的形状上输入信息;定位过程;通过光栅方程计算衍射光强度的峰值角的过程;确定衍射光的测量角度范围并确定测量衍射光时的测量角度范围的过程;用于获取衍射光的强度并获取衍射光的强度的轮廓的过程;并且,根据获取的衍射光的强度的轮廓,在该处理中获取的衍射光的角度,基于设定的照明光的照射角度,摄像倍率和照明波长,设定检查条件设定工序。计算衍射光强度的峰值角,衍射光的阶数和照明光的波长。
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