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GLOW DISCHARGE ANALYSIS METHOD, GLOW DISCHARGE EMISSION ANALYSIS METHOD AND GLOW DISCHARGE EMISSION ANALYZER

机译:辉光放电分析方法,辉光放电排放分析方法和辉光放电分析仪

摘要

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a glow discharge analysis method, a glow discharge emission analysis method and a glow discharge emission analyzer capable of quantitating elements in a sample within an extremely short time.;SOLUTION: Mixed gas G3 of inactive gas and reactive gas for increasing a spattering rate of glow discharge is used as discharge gas, a sample 5 is spattered by glow discharge and quantitative analysis of elements contained in the sample is performed based on a spattering time and a spattering depth.;COPYRIGHT: (C)2013,JPO&INPIT
机译:要解决的问题:提供一种辉光放电分析方法,辉光放电发射分析方法和辉光放电发射分析仪,能够在极短的时间内对样品中的元素进行定量。解决方案:惰性气体和反应性气体的混合气体G3为了提高辉光放电的溅射速度作为放电气体,通过辉光放电对样品5进行溅射,并根据溅射时间和溅射深度对样品中所含元素进行定量分析.COPYRIGHT:(C)2013 ,JPO&INPIT

著录项

  • 公开/公告号JP2013178237A

    专利类型

  • 公开/公告日2013-09-09

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 RIGAKU CORP;

    申请/专利号JP20130014334

  • 发明设计人 TAKAHARA AKISATO;

    申请日2013-01-29

  • 分类号G01N21/67;

  • 国家 JP

  • 入库时间 2022-08-21 17:00:09

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