机译:具有碱性开发能力的苯酚化合物,具有促进发展的潜力,并且具有良好的灵敏度,分辨率,图案形成,残留物,物理性质和可靠性的正型光敏组合物
公开/公告号KR20120066923A
专利类型
公开/公告日2012-06-25
原文格式PDF
申请/专利号KR20100128277
发明设计人 JEONG JI YOUNG;CHUNG MIN KOOK;CHO HYUN YONG;YOO YONG SIK;LEE JEONG WOO;LEE JONG HWA;CHEON HWAN SUNG;KIM SOO YOUNG;KIM YOUNG HO;KIM JAE HYUN;PARK SU MIN;
申请日2010-12-15
分类号C07C69/84;G03F7/039;H01L21/02;
国家 KR
入库时间 2022-08-21 17:09:47