机译:基于带有特定结构的结构单元和包含酸-溶液溶解抑制基团的结构单元的树脂成分的正型抗蚀剂组合物和形成能够形成抗蚀剂图案的方法
公开/公告号KR20110136716A
专利类型
公开/公告日2011-12-21
原文格式PDF
申请/专利权人 TOKYO OHKA KOGYO CO. LTD.;
申请/专利号KR20110055974
申请日2011-06-10
分类号G03F7/039;G03F7/004;H01L21/027;
国家 KR
入库时间 2022-08-21 17:11:17