机译:底物的憎水组合物,形成抗蚀剂的方法,用该形成方法生产的电子设备,将底物浸入水中的方法,将底物浸入水中的憎水剂以及注入水的方法以相同的身份进行替换以被曝光
公开/公告号EP2246876A4
专利类型
公开/公告日2012-07-04
原文格式PDF
申请/专利权人 ASAHI GLASS COMPANY LIMITED;
申请/专利号EP20090713242
申请日2009-02-20
分类号H01L21/027;G03F7/09;G03F7/16;
国家 EP
入库时间 2022-08-21 17:15:41