公开/公告号AT556431T
专利类型
公开/公告日2012-05-15
原文格式PDF
申请/专利权人 LAM RESEARCH CORPORATION;
申请/专利号AT20070007143T
发明设计人 NICKHOU AFSHIN;REDEKER FRITZ;DE LARIOS JOHN M.;RAVKIN MIKE;GARCIA JAMES P.;WOODS CARL;BOYD JOHN;
申请日2003-09-30
分类号H01L21/67;C25D5/22;C25D7/12;H01L21/00;
国家 AT
入库时间 2022-08-21 17:21:31