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on nanometrischem or mikrometrischem scale vibrating electromechanical component with improved detektionsniveau

机译:改进的检测技术在纳米计量学或微计量学规模的振动机电组件上的应用

摘要

It is an electromechanical component vibrating at the micrometric or nanometric scale comprising a vibrating mechanical element (1) which cooperates with at least one electrode, called of detection (2). The detection electrode (2) is flexible and is intended to vibrate in phase opposition with respect to the vibrating mechanical element (1) .application to the resonators or movement sensors.
机译:它是一种以微米或纳米级振动的机电部件,包括与至少一个电极协作的振动机械元件(1),称为检测(2)。检测电极(2)是柔性的,并且旨在相对于应用于谐振器或运动传感器的振动机械元件(1)以相反的相位振动。

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