机译:使用等离子束或多个等离子束来涂覆衬底表面,包括根据与热注入相反的相应的等离子涂覆喷嘴将大气低温等离子体束引导到衬底表面。
公开/公告号DE102010014552A1
专利类型
公开/公告日2011-09-22
原文格式PDF
申请/专利权人 BRUMMER TIMO;
申请/专利号DE20101014552
发明设计人 BRUMMER TIMO;
申请日2010-04-10
分类号C23C4/12;H01J37/32;
国家 DE
入库时间 2022-08-21 17:47:20