首页> 外国专利> THREE-AXIAL ACCELERATION SENSOR AND A METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME CAPABLE OF ATTACHING THE Z-AXIAL ACCELERATION SENSOR ON THE XY-AXIAL ACCELERATION SENSOR

THREE-AXIAL ACCELERATION SENSOR AND A METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME CAPABLE OF ATTACHING THE Z-AXIAL ACCELERATION SENSOR ON THE XY-AXIAL ACCELERATION SENSOR

机译:三轴加速度传感器和制造能够在Z轴加速度传感器上安装Z轴加速度传感器的能力的方法

摘要

PURPOSE: A three-axial acceleration sensor and a method for manufacturing the same are provided to reduce area for the three-axial acceleration sensor by bonding the Z-axial acceleration sensor on the XY-axial acceleration sensor. ;CONSTITUTION: The XY-axial acceleration sensor(400) detects the acceleration of a substrate on the XY-axial direction of a horizontal plane. The Z-axial acceleration sensor(300) is bonded on the upper side of the XY-axial acceleration sensor to be formed on the vertical line of the plane of the XY-axial acceleration sensor. The XY-axial acceleration sensor and the Z-axial acceleration sensor are composed of fixed fingers and moving fingers.;COPYRIGHT KIPO 2011
机译:用途:提供了一种三轴加速度传感器及其制造方法,以通过将Z轴加速度传感器结合在XY轴加速度传感器上来减小三轴加速度传感器的面积。 ;构成:XY轴加速度传感器(400)用于检测基板在水平面XY轴方向上的加速度。 Z轴加速度传感器(300)结合在XY轴加速度传感器的上侧,以形成在XY轴加速度传感器的平面的垂直线上。 XY轴加速度传感器和Z轴加速度传感器由固定手指和活动手指组成。; COPYRIGHT KIPO 2011

著录项

  • 公开/公告号KR20110064896A

    专利类型

  • 公开/公告日2011-06-15

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 DONGBU HITEK CO. LTD.;

    申请/专利号KR20090121667

  • 发明设计人 JEONG EUN SOO;

    申请日2009-12-09

  • 分类号G01P15/08;G01P15/00;

  • 国家 KR

  • 入库时间 2022-08-21 17:51:43

相似文献

  • 专利
  • 外文文献
  • 中文文献
获取专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号