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HIGH RELIABLE RF GENERATOR STRUCTURE CAPABLE OF FACILITATING THE REMOVAL AND REPLACEMENT OF A BROKEN RF POWER GENERATOR

机译：具有高可靠性的射频发生器结构，有助于拆除和更换破碎的射频功率发生器

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PURPOSE: A high reliable RF generator structure is provided to permanently store a high speed event which is instantaneously generated before a breakdown occurs.;CONSTITUTION: Driver modules(14-1,14-2,14-3,14-4) generate RF power. A power amplifier module amplifies RF power. A voltage clamping circuit receives the amplified RF power and electrically protects the driver module. A data obtaining module includes a first communication port and receives diagnosis data related to the power amplifier module. The data obtaining module stores data received for a preset time before a breakdown is displayed through the first communication port.;COPYRIGHT KIPO 2011

机译：目的：提供了一种高度可靠的射频发生器结构，以永久存储在发生故障之前即刻产生的高速事件;组成：驱动器模块（14-1,14-2,14-3,14-4）产生射频功率。功率放大器模块放大RF功率。电压钳位电路接收放大的RF功率并电气保护驱动器模块。数据获取模块包括第一通信端口，并接收与功率放大器模块有关的诊断数据。数据获取模块存储在通过第一通信端口显示故障之前在预定时间内接收的数据。; COPYRIGHT KIPO 2011

著录项

公开/公告号KR20110046422A

专利类型
公开/公告日2011-05-04

原文格式PDF
申请/专利权人 MKS INSTRUMENTS INC.;
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申请/专利号KR20110032770
发明设计人 RADOMSKI AARON T.;LINCOLN DANIEL J.;LUBOMIRSKY VADIM;SMYKA JON;COUMOU DAVID J.;CHAWLA YOGENDRA;
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申请日2011-04-08
分类号G01R31/00;
国家 KR
入库时间 2022-08-21 17:52:00

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