要解决的问题：提供一种使曝光装置的照明光学系统中的准直镜偏转的方法，该方法可以通过使准直镜的厚度变薄而使准直镜的重量变轻，即使准直镜的矩形的一个边缘变成几千毫米，假设准直镜的厚度和边缘的长度之间的关系，使准直镜充分偏转，并允许进行高精度曝光，从而减少提供一种用于通过准直镜的偏转方法获得的用于曝光装置的照明光学系统。
解决方案：在使曝光装置的照明光学系统中的准直镜偏转的方法中，通过偏转的准直镜使来自照明光源的曝光光线的光束成为平行光束，并形成图案。掩模的光通过曝光光线被转印到要被转印的物体上。在准直镜的厚度之间的关系的假设下，准直镜被机械地偏转，并且边缘的长度和平行光通量的畸变像差被校正。例如，假设准直镜的厚度与边缘的长度之间的关系，则将准直镜相对于准直镜的表面按压或向上或向下偏转，并且变形以校正镜面的畸变像差。平行光通量。
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