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Laser beam scanner for the fabrication of e.g. solar cells and pixel-repair of flat screens has F-theta lens for formation of top hat beam distribution

机译:激光束扫描仪用于制造例如太阳能电池和平面屏幕的像素修复具有F-theta透镜,用于形成礼帽光束分布

摘要

A single- or twin-dimensional laser beam (1) scanner operates in a working plane (5) and has an F-Theta lens through which the laser beam passes and a further lens system (2) that forms a top-hat distribution of the laser beam distribution in the working plane.
机译:一维或二维激光束(1)扫描仪在工作平面(5)中运行,并具有一个F-Theta透镜,激光束通过该透镜和另一个透镜系统(2),该透镜系统形成激光束在工作平面中的分布。

著录项

  • 公开/公告号DE102008029946A1

    专利类型

  • 公开/公告日2009-12-31

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 LIMO PATENTVERWALTUNG GMBH & CO. KG;

    申请/专利号DE20081029946

  • 发明设计人 MITRA THOMAS;GUETLICH BJOERN;

    申请日2008-06-26

  • 分类号G02B26/10;

  • 国家 DE

  • 入库时间 2022-08-21 18:28:55

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