首页> 外国专利> METHOD FOR MANUFACTURING A VERTICAL COMPLEMENTARY METAL-OXIDE-SEMICONDUCTOR IMAGE SENSOR, CAPABLE OF IMPROVING THE ELECTRICAL CHARACTERISTIC OF A PHOTO DIODE

METHOD FOR MANUFACTURING A VERTICAL COMPLEMENTARY METAL-OXIDE-SEMICONDUCTOR IMAGE SENSOR, CAPABLE OF IMPROVING THE ELECTRICAL CHARACTERISTIC OF A PHOTO DIODE

机译:垂直互补金属氧化物-半电子图像传感器的制造方法,该传感器能够改善光电二极管的电特性

摘要

PURPOSE: A method for manufacturing a vertical complementary metal-oxide-semiconductor image sensor is provided to reduce the extinction of electrons, which are generated by the light, by implanting deuterium ions which is optimized to the defect region in an epi layer.;CONSTITUTION: A first deuterium ion region(14) is formed on a semiconductor substrate including a first photo diode. A first epi layer is formed on the entire surface of a semiconductor substrate including the first photo diode. A second deuterium ion region is formed on the first epi layer including a second photo diode. A second epi layer(16) is formed on the entire surface of the first epi layer including the second photo diode. A third deuterium ion region(30) is formed on the second epi layer including a third photo diode.;COPYRIGHT KIPO 2010
机译:目的:提供一种用于制造垂直互补金属氧化物半导体图像传感器的方法,该方法是通过将经过优化的氘离子注入到外延层的缺陷区域中来减少由光产生的电子的消光。 :在包括第一光电二极管的半导体衬底上形成第一氘离子区(14)。在包括第一光电二极管的半导体衬底的整个表面上形成第一外延层。在包括第二光电二极管的第一外延层上形成第二氘离子区。在包括第二光电二极管的第一外延层的整个表面上形成第二外延层(16)。在包括第三光电二极管的第二外延层上形成第三氘离子区(30)。COPYRIGHTKIPO 2010

著录项

  • 公开/公告号KR20100074518A

    专利类型

  • 公开/公告日2010-07-02

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 DONGBU HITEK CO. LTD.;

    申请/专利号KR20080132978

  • 发明设计人 PARK JI HWAN;

    申请日2008-12-24

  • 分类号H01L27/146;H01L27/148;

  • 国家 KR

  • 入库时间 2022-08-21 18:32:25

相似文献

  • 专利
  • 外文文献
  • 中文文献
获取专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号